Attività e Progetti (Microsistemi)
Progetto PRIN 2005: “Caratterizzazione sperimentale del comportamento dinamico e dell'affidabilità strutturale di RF-MEMS”
Sviluppo di strumenti e metodi per la progettazione integrata e l'ottimizzazione di dispositivi microelettromeccanici per radio frequenza (RF-Mems): caratterizzazione sperimentale del comportamento dinamico e dell'affidabilità strutturale e lo studio del comportamento a fatica. Tale obiettivo ha compreso inizialmente la sperimentazione e l'identificazione del comportamento dinamico di microstrutture, in seguito la messa a punto di modelli per la previsione della vita a fatica meccanica di microsistemi e infine il progetto, la fabbricazione e la caratterizzazione sperimentale di strutture per il test a fatica.
Simulazione f.e.m. di una microstruttura per il test di fatica progettata nel laboratorio di microsistemi
Immagine ottica di una microstruttura per il test di fatica progettata nel laboratorio di microsistemi
Wafer contenente microstrutture in oro di prova
Progetto per lo Sviluppo e l’Innovazione del Settore Aerospaziale-SISA
Il settore della sensoristica è stato individuato come uno dei più vicini alle esigenze applicative aerospaziali, per questo sono stati analizzati trasduttori MEMS in commercio in grado di convertire valori di parametri ambientali (accelerazione, pressione, temperatura, etc.) in segnali elettrici. In questo ambito sono stati analizzati sensori inerziali di accelerazione a uno, due e tre assi. Analisi affidabilistiche sono state condotte allestendo un opportuno banco di prova per realizzazione di prove su piattaforme inerziali per applicazioni aeronautiche. Il banco è stato sviluppato in modo da fornire una sollecitazione in frequenza ad ampio spettro ed ampiezza controllata al sensore. La ricerca condotta ha aperto un nuovo fronte rivolto allo sviluppo di dispositivi in grado di svolgere la funzione di generatori di potenza tramite la conversione di energia meccanica, ad esempio vibratoria, in energia elettrica (Energy scavenging).
